半導体の低温動作の評価

《問題点》
試料をピンポイントで低温にする良い機器が無かった。

《⇒改善のポイント》
冷風クーラーを使用した。
ニードルノズルでピンポイント冷却が可能になった。
冷風クーラーコントローラーで設定温度を保持できるので実験の精度が上がった。