問題点 従来の熱源では昇温速度が遅く、スループットの改善が期待できない可能性があ ...
Read More »No.20 レジスト膜のプリベークの熱源
問題点 半導体製造プロセスにおいて、レジスト膜のプリベークは膜品質を安定させるた ...
Read More »No.19 チャックホルダーの予熱
問題点 スピンコーターのチャックホルダーを適切な温度に予熱することで、塗布液の均 ...
Read More »No.18 脱水ベークの高速化
問題点 脱水ベーク工程において、乾燥時間の短縮が重要な課題となっていました。従来 ...
Read More »No.17 仮固定用接着剤の乾燥
問題点 仮固定用接着剤の乾燥工程において、乾燥時間の短縮が重要な課題となっていま ...
Read More »No.16 SICウェハーのアニール処理
問題点 SICウェハーのアニール処理では、高温で均一な加熱が求められる一方で、ス ...
Read More »No.15 樹脂ペレットの小ロット乾燥
問題点 少量多品種生産の現場では、従来の大型ホッパーやドライヤーを使用した乾燥方 ...
Read More »No.14 コーターの乾燥速度短縮
問題点 コーティング工程において、乾燥速度の遅さが生産効率の低下を招いていました ...
Read More »No.13 冷凍倉庫のシャッターの除霜
問題点 冷凍倉庫のシャッターは、庫内外の温度差により結露しやすく、これが凍結して ...
Read More »No.12 プリント基板の熱変形計測の熱源
問題点 プリント基板の熱変形を正確に測定するためには、均一かつ瞬時に熱を加えられ ...
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