No.1 精密洗浄後の300mmシリコンウェハーの乾燥

問題点

シリコンウェハー上の水滴を急速に蒸発させる良いヒーターが無かった。

　⇒改善のポイント
カーボンラインヒーターCFLHで中赤外線を照射して乾燥した。
吸収波長が適合しているので、水滴は直ぐに蒸発した。
タクトタイムの短縮になった。

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