No.2 プリント基板洗浄後の乾燥 問題点 ヒートダメージ対策の為、温度管理しやすい低温ヒーターを探していた。 ⇒改善のポイント カーボンラインヒーターCFLHで中赤外線を照射して乾燥した。 吸収波長が適合しているので、水滴は直ぐに蒸発した。 低温ヒーターなので、ヒートダメージ対策になった。 関連するページ: No.1 精密洗浄後の300mmシリコンウェハーの乾燥 第4号 ゴム成形品の加熱 第1号 樹脂シートの加熱 第2号 樹脂ペレットの乾燥 第3号 ゴム成形品の予熱 第5号 エポキシ樹脂の乾燥 第2号 電子部品のはんだ付け 真空チャンバー加熱用ハロゲンヒーターのフィードバック制御 2024-08-05 HEAT-TECH info