No.16 SICウェハーのアニール処理

問題点

SICウェハーのアニール処理では、高温で均一な加熱が求められる一方で、スループットの向上が課題となっていた。

　⇒改善のポイント
カーボンラインヒーターを使用して加熱した。
スループットが向上しコンパクトな設計により、省スペース化にも貢献した。
高さらに、温プロセスにおけるエネルギー効率の最適化も一歩前進した。

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