問題点

スピンコーターのチャックホルダーを適切な温度に予熱することで、塗布液の均一性を向上させることが求められていました。しかし、従来の加熱方法では温度上昇が遅く、スループットが遅いという課題があった。さらに、加熱装置の設置スペースの確保も問題となっていました。

　⇒改善のポイント
カーボンラインヒーターを使用してチャックホルダーを加熱することで、予熱時間の短縮が可能となった。また、カーボンラインヒーターのコンパクトな設計により、省スペース化にも貢献し、生産効率の向上が実現した。

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