問題点

従来の熱源では昇温速度が遅く、スループットの改善が期待できない可能性があった。

　⇒改善のポイント
カーボンラインヒーターを使用して レジスト膜のポストベークを行うことで、迅速な加熱が可能となった。昇温によりスループットの向上を実現し、生産効率の最適化に貢献した。さらに、カーボンラインヒーターのコンパクトな設計により、省スペース化を実現し、設備の柔軟なレイアウトが可能になった。

関連するページ：

No.21 露光後ベーク（PEB）の熱源 No.20 レジスト膜のプリベークの熱源 No.19 チャックホルダーの予熱 No.3 自動車塗装の乾燥 No.5 水性インクの乾燥 No.12 プリント基板の熱変形計測の熱源 No.14 コーターの乾燥速度短縮 No.15 樹脂ペレットの小ロット乾燥