No.13 シリコンウェハーのロードロック室での保温

問題点

ウェハーに合う円形ヒーターを探していた。

　⇒改善のポイント
カーボンリングヒーターCFRHを使用した
サイズ感がちょうどよかった。
ヒータースペースが小型になった。

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