No.13 シリコンウェハーのロードロック室での保温

問題点

ウェハーに合う円形ヒーターを探していた。

 ⇒改善のポイント
カーボンリングヒーターCFRHを使用した
サイズ感がちょうどよかった。
ヒータースペースが小型になった。