カーボンリングヒーターの活用法 No.13 シリコンウェハーのロードロック室での保温 2024/08/06 HEAT-TECH info 問題点 ウェハーに合う円形ヒーターを探していた。 ⇒改善のポイント カーボンリングヒーターCFRHを使用した サイズ感がちょうどよかった。 ヒータースペースが小型になった。 関連するページ: No.1 電線の結束 No.2 鉄筋の防錆防蝕 No.3 ステンレスパイプの加飾 No.4 アルミパイプの防蝕保護 No.8 小枝の装飾 No.9 銅管の防水保護 No.10 竹の装飾 No.11 丸端子の絶縁