真空チャンバー内の試料加熱

真空チャンバー内の試料加熱-ハロゲンラインヒーターの活用法

問題点

加熱プロセスを目視する必要があった。
 ⇒改善のポイント
平行光型ハロゲンラインヒーターを使用した。
加熱変化を目視で確認できるのでプロセスが良く解った。
試験時間の短縮化に成功した。

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