半導体製造工程で排出された廃液を再資源化する工程におけるシリコン粉の乾燥

問題点

半導体製造でシリコンウエハを研磨して排出された廃液を再資源化する工程で、シリコン粉の乾燥方法を探していた。

　⇒改善のポイント

非接触の赤外線加熱で粉塵の飛散を抑え、効率的にシリコン粉の水分を乾燥出来た。