半導体製造工程においてのプリカーサーガスの加熱

問題点

基板表面での化学反応が効率よく進行させるため、プリカーサーガスの加熱を検討していた。

　⇒改善のポイント

ハロゲンラインヒーターを対面設置して加熱した。配管に簡単に取付ができるので、設備投資が少額になった。