非接触高温加熱・ハイテクヒーターのヒートテック熱風ヒーター：ハロゲンヒーター：遠赤外ヒーター

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シリコンウェハーの高温安定加熱

ハロゲンポイントヒーターで枠で遮光して部分加熱した映像です。

詳細は下記サイトで確認して下さい。