集光型CVD加熱炉の光熱源

問題点

小型で制御性が高く、エネルギー効率の高い加熱炉が必要だった。

　⇒改善のポイント

短時間で高温加熱できるハロゲンポイントヒーターを使用した。
小型でエネルギー効率の良い加熱プロセスが実現できた。

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