SiC 炭化珪素の焼成

SiC 炭化珪素の焼成-ハロゲンポイントヒーターの活用法

SiC 炭化珪素の焼成-ハロゲンポイントヒーターの活用法

問題点

SiC炭化珪素を簡単に加熱できる熱源が無かった。

 ⇒改善のポイント

ハロゲンポイントヒーターを使用してSiC炭化珪素を加熱した。
短時間で高温になるので、実験のスピードが上がった。

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ハロゲンポイントヒーターの活用法

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