半導体の熱膨張評価

半導体を簡単に精密加熱する方法が無かった。

　⇒改善のポイント

ハロゲンポイントヒーターを使用して高温加熱した。
金属に吸収され易い近赤外線でフィードバック制御で任意の温度で安定加熱した。
設備が小型になり、研究費を申請しやすくなった。
しかも、瞬時に高温加熱ができるので、スクリーニングの効率が上がった。