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真空チャンバー加熱用ハロゲンヒーターのフィードバック制御

真空チャンバー加熱用ハロゲンヒーターのフィードバック制御

問題点

線形加速器・X線レーザーで試料を加熱したいと思っていたが、
真空度が破壊されるので出来なかった。

 ⇒改善のポイント

真空チャンバーのビューポートを利用して加熱制御したので、装置の改造が不要だった。

高機能ヒーターコントローラーHHC2に放射温度計用の温度調節器を搭載して、
放射温度計の信号で制御した。

更に、試料が変わっても同じ位置から加熱できたので、
段取り替えの工数が減った。

しかも、手動と自動の切替スイッチが有るので
簡単に条件出しができた。

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