熱風ヒーターの活用法, 熱風ヒーターの活用法 シリコンウェハーの窒素乾燥 2011/10/25 HEAT-TECH info 問題点 自然乾燥すると水滴の跡が残り気になっていた。 ⇒改善のポイント 熱風ヒーターで窒素を加熱して乾燥した。 水滴の跡が無くなり、酸化も無いので品位が向上した。 関連するページ: フィルムシュリンク 巻き線コイルの自己融着 バーナーの着火源 スパチュラ(スパーテル、薬匙)の加熱殺菌 アンモニアガスの加熱 加工穴の乾燥 可動部の加熱 樹脂の熱かしめ