熱風ヒーターの活用法, 熱風ヒーターの活用法 シリコンウェハーの乾燥 2010/11/21 HEAT-TECH info 問題点 従来の方法では乾燥空気の中に金属イオンが含まれるので困っていた。 ⇒改善のポイント 熱風ヒーターのクリーンルーム仕様で加熱・乾燥した。 硝子コーティングされたヒーターなので、金属イオンの含有量が減った。 関連するページ: フィルムシュリンク 巻き線コイルの自己融着 バーナーの着火源 スパチュラ(スパーテル、薬匙)の加熱殺菌 アンモニアガスの加熱 フィルムと紙の接着 金属部品の洗浄後の乾燥 樹脂の熱かしめ